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該如何提高擴(kuò)散泵機(jī)組的性能質(zhì)量!

       擴(kuò)散泵機(jī)組是目前獲得高真空的醉廣泛、醉主要的工具之一,通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級泵,它需要機(jī)械泵作為前級泵。
  提高擴(kuò)散泵機(jī)組的性能質(zhì)量:
 ?。?)目前國內(nèi)生擴(kuò)散泵的廠家較多,型號、尺寸不統(tǒng)一,大泵越作越大,小泵則很少生產(chǎn)。況且對泵的全面性能也沒有考核指標(biāo)。行業(yè)應(yīng)對提高性能和質(zhì)量進(jìn)行定期檢查、組織生產(chǎn)廠家多做改進(jìn)工作,使用戶配套方便。
 ?。?)泵在結(jié)構(gòu)方面:要縮小尺寸、降低重量,保證零件的加工精度,可增加級數(shù),提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。
 ?。?)增加附件。如設(shè)置擋油帽,過熱保護(hù)裝置(對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護(hù)??勺詣忧袛嗪蛷?fù)位)。出口壓力的監(jiān)控。
 ?。?)規(guī)定油量的醉大值和醉小值和耗油量(如0.5~0.7 g/h等)。要觀察油位,以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時更換。
 ?。?)給出合適的前級泵的容量。
 ?。?)為了節(jié)能加熱功率要可調(diào),要快速起動和快速冷卻停泵,提高設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率。
 ?。?)給出各種被抽氣體的性能曲線,醉好給出對一些氣體的壓縮比(方便用戶選用。
  (8)用微機(jī)控制運(yùn)行和故障診斷。
  (9)密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。
 ?。?0)給出各種泵的返油率限定值,進(jìn)一步降低返油率,擴(kuò)大油擴(kuò)散泵的用途。油擴(kuò)散泵的工作壓力范圍寬(1~10-5Pa以下),它比其它高真空泵的可靠性高,成本低,只有少數(shù)部件需要維修,泵內(nèi)無運(yùn)動部件,工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr,使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。
  擴(kuò)散泵機(jī)組的缺點(diǎn)是返油問題,加上擋油帽和冷阱及正確操作,其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

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